翼展應(yīng)邀參加展會探討凈化工程的應(yīng)用的行業(yè)及發(fā)展趨勢
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時(shí)間：2022-07-05
翼展參與探討凈化工程的應(yīng)用及發(fā)展趨勢
潔凈技術(shù)又稱為生產(chǎn)環(huán)境和污染控制技術(shù),，是近二,、三十年來隨著高新技術(shù)發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學(xué)技術(shù)。潔凈技術(shù)專門研究并提供潔凈的生產(chǎn)工藝環(huán)境和生產(chǎn)過程中使用的各種高純介質(zhì),，有效地控制微量雜質(zhì),，以保證高科技產(chǎn)品的成品率和可靠性,。潔凈技術(shù)通常包括：空氣凈化技術(shù)、空調(diào)技術(shù)、水純化技術(shù),、氣體純化技術(shù),、微量雜質(zhì)控制技術(shù)、潔凈環(huán)境的監(jiān)測技術(shù)及相關(guān)的環(huán)境質(zhì)量的控制技術(shù),。凈化工程技術(shù)在電子,、核子、航空航天,、生物工程,、制藥、精密機(jī)械,、化工,、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領(lǐng)域及現(xiàn)代科學(xué)領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用,。
對于半導(dǎo)體設(shè)備來講,，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路,，而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求,。我國在“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志,。
隨著我國人民生活水平提高,，人們對生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求，用水純化設(shè)備制備的高純水已受到人們普遍歡迎,，凈化工程技術(shù)已開始進(jìn)入千家萬戶,，進(jìn)入人們的現(xiàn)代生活。 數(shù)據(jù)表明
我國的潔凈技術(shù)和設(shè)備與國外先進(jìn)國家相比差距是明顯的,，我國1965年才開始生產(chǎn)的HEPA過濾器,，比國外晚了十五年。1975年開始生產(chǎn)的光散射塵埃粒子計(jì)數(shù)器比國外晚了二十年,。0．1微米潔凈技術(shù)和設(shè)備在國際上先進(jìn)國家已成為成熟技術(shù),，我國則剛剛起步。
世界各工業(yè)先進(jìn)國家為適應(yīng)超凈技術(shù)的發(fā)展,，對大量使用的高效過濾器的研究從未中斷,，幾年來一直在開發(fā)不同結(jié)構(gòu)不同性能的新產(chǎn)品，美國自1979年開始研制0．1微米ULPA過濾器,，1984年美國AAF公司開始生產(chǎn)0．1微米無隔板ULPA過濾器,，目前0．1微米ULPA過濾器在美國AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生產(chǎn),。日本也已成為世界上生產(chǎn)0．1微米ULPA過濾器廠家最多的國家,，品種繁多,，產(chǎn)品系列化，尤其是低壓損型0．1微米ULPA過濾器的開發(fā)成功解決了初阻力大的技術(shù)難題,。
國際市場對高效空氣過濾器的需求量很大,，且每年均有增長，目前日本每年銷售超過100萬臺,，按每臺平均價(jià)格200美元計(jì)算,，銷售額達(dá)2億美元。我國高效空氣過濾器市場需求量已接近每年10萬臺,，占國際市場的2％~4％,，但至今還沒有0．1微米ULPA過濾器生產(chǎn)，用于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)潔凈廠房及各種高科技領(lǐng)域潔凈廠房的0．1微米ULPA過濾器目前還要依賴進(jìn)口,。
在潔凈室建設(shè)規(guī)模和技術(shù)水平上,，我國與先進(jìn)國家差距更大。日本清水建設(shè)公司一家,，1982年到1987年期間承建的潔凈室面積達(dá)71．8萬平方米,，而我國目前一年承建的潔凈室總面積還不到10萬平方米，但八五期間有較大發(fā)展,，1993年承建潔凈室總面積已接近15萬平方米。美國的潔凈室建設(shè)規(guī)模更大,，1998年統(tǒng)計(jì)已達(dá)188．5萬平方米,。在潔凈工程技術(shù)水平上，80年代末期,，國外已大量建成0．1微米級的超凈室,，1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個(gè)1000平方米控制0．1微米塵埃的千級廠房,，換氣次數(shù)高達(dá)300次／分,。
美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。我國使用的0,，1微米十級潔凈室主要依賴從國外進(jìn)口,。由于高潔凈級別的潔凈室造價(jià)十分昂貴，0．1微米十級潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬美元以上,。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例,，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng),，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展,。
德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項(xiàng)新的潔凈技術(shù)在100級潔凈度的潔凈廠房中,，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境,，把投資比例壓縮到高級別的微環(huán)境,，消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。
潔凈技術(shù)和裝備的國際市場十分巨大,，日本到80年代末,、90年代初潔凈技術(shù)和設(shè)備的銷售額已突破35億美元。美國和西歐等先進(jìn)國家潔凈設(shè)備和基礎(chǔ)部件的銷售額已達(dá)73億美元,。據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會統(tǒng)計(jì),，我國主要八家較大的凈化設(shè)備廠的銷售額1990年為8217萬元，還不足1億,，1993年達(dá)到14495萬元,，占國際市場銷售額的0．34％。但隨著我國高新技術(shù)的迅速發(fā)展和微電子工業(yè),、光纖工業(yè),、液晶顯示工業(yè)及光電器件工業(yè)、生物工程,、醫(yī)藥工業(yè)的發(fā)展,，我國潛在的巨大的潔凈技術(shù)產(chǎn)品市場，以每年40％~50％的增長速度在增加,。
